大型スピンドル

＜特長＞
・高い回転精度
　空気軸受の回転精度を活かし，高い回転精度を実現しています。
・低い温度上昇
　転がり軸受に比較して，発熱が少なく通常の回転速度では軸受の冷却は不要です。
・高剛性・高負荷容量
　剛性，負荷容量を考慮した軸受設計としています。
・耐焼付性
軸受部にカーボン系の材料を使用し耐焼付き性を向上させています。

＜構造・構成＞
・部品の加工精度を上げ，製品精度を向上させています。
・複合絞りを採用し，高剛性化を図っています。

＜用途＞
・半導体の加工装置
・半導体の検査装置
・研削盤
・軟質金属・脆性材料の加工装置