小型エアスピンドル

＜特長＞
・高い振れ精度
　非繰り返し振れ精度（NRRO）0.02μm以下です。
・低摩擦損失，低発熱
　空気を潤滑流体とするため低摩擦損失，低発熱です。
・少ない回転むら
　NTNリニア駆動ドライバを使用すると，ジッタ（回転速度変動）±0.0005 ％以下に
　対応可能です。（マスタリング装置用は±0.0001 ％以下）
・高速起動，停止
　所定の回転速度まで，短時間で起動停止します。
・集中排気に対応可能
　軸受からの排気を一箇所にまとめて排出することができます。

＜構造・構成＞
外部から清浄な圧縮空気を軸受面に供給し，軸を浮上さる事によって，
滑らかに回転します。軸の後端にビルトインモータとエンコーダを取り付け，
ドライバと組み合せて，高精度なエアスピンドルユニットを実現しています。

＜用途＞
・ディスク検査装置
・ディスクヘッド検査装置
・半導体加工装置
・半導体検査装置
・真円度測定器
・トルク測定器